產品介紹

ProMaxy®金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD)

產品簡介

自主研發的ProMaxy®金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD),擁有自主知識產權和多項核心專利技術,適用於GaN、AIN、InN、AIGaN、SiC等第三代寬禁帶半導體材料的大規模外延生產,包括藍白光LED、綠光LED、紫外光LED、聚光太陽能電池以及GaN射頻/電子功率器件等,提供高良品率、高亮度、低外延生產成本的MOCVD技術平台。

產品性能特點

  • 係統產能可達280片/2英寸,68片/4英寸。
  • 係統可1-4個反應腔任意組合配置,每個反應腔均獨立操作運行。
  • 全程實時監測溫度、反射率、翹曲率、並可遠程實施監控。
  • 波長命中率(BIN=5nm)超過85%;波長均勻性≤2nm。
  • 自動托盤裝卸,連續外延生產超過50爐。
  • 工藝穩定、重複,爐間波長重複性≤1.5nm。
  • 係統占地8.2米*7.6米,結構布局合理,操作與維護簡便。