產品介紹

ProMaxy® 168 金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD)

產品簡介

ProMaxy® 168金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD),新一代高產能MOCVD設備,在ProMaxy® 產品性能指標的基礎上,采用了新的自主創新核心技術,係統產能獲得顯著提高,外延生產成本獲得顯著降低,以滿足LED外延生產對降低成本不斷增長的需要,是具有世界領先水平的國產MOCVD設備(摘自科技項目谘詢報告,報告編號20153632)。

產品性能特點

  • 係統產能132片/4英寸、36片/6英寸、24片/8英寸。
  • 係統可1 - 4個反應腔任意組合配置,每個反應腔均獨立操作運行。
  • 全程實時監測溫度、反射率、翹曲率,可遠程實時監控。
  • 波長命中率(BIN=5nm)達85%;波長均勻性≤2nm。
  • 自動托盤裝卸,連續外延生產超過50爐。
  • 工藝穩定、重複,爐間波長重複性≤1.5nm。
  • 係統占地7.9米x7.8米,結構布局合理,操作與維護簡便。