產品介紹

ProMaxy®HT 金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD)

產品簡介

ProMaxy® HT 金屬有機化學氣相沉積設備(MOCVD),在ProMaxy® UV核心技術的基礎上,采用自主創新的旋轉托盤中心溫度均勻的高溫加熱器和托盤旋轉技術和多層次噴淋頭氣體均勻分布及脈衝氣體傳輸技術,適用於需要高溫/高摻鋁GaN射頻/電子功率器件的規模外延生產。

產品性能特點

  • 單反應腔、托盤自動裝卸和連續外延生產。
  • 產能可靈活配置托盤,實現6 – 15片/2英寸,3片/4英寸,1片/6-8英寸。
  • 全程實時監測溫度、反射率、翹曲率,可遠程實時監控。
  • 反應腔溫度1400℃,溫度均勻及穩定性≤±1℃;可以優化升級到1500℃
  • MO源和V族源氣路配置靈活,可定製化設計,滿足不同材料生長。
  • 生長速率可達到AIN≥1.2um/h,AIGaN≥2.5um/h,並具有良好的晶體質量。
  • AlGaN中的Al的組份比例可達80%,濃度分布偏差≤0.25% 。
  • 均勻性好、良品率高、外延工藝重複穩定。
  • 長效維護周期,實現設備高效運行。